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納米粒度儀的電感耦合等離子體質譜(ICP-MS)ICP-MS是使用電感耦合等離子體作為離子源的元素質譜法;離子源產生的樣品離子質量通過質譜分析儀和檢測器后的質譜分析;檢測限低(多數元素檢測限為ppb-ppt);線性范圍很寬(最多7個數量級);分析速度快(1分鐘內70個元素的結果));光譜干擾小(原子量差可以用1分開),并且可以進行同位素分析。
飛行時間二次離子質譜納米粒度儀(TOF-SIMS)是用單個離子刺激樣品表面以產生非常少量的二次離子,這是由于不同質量引起的二次質量。極高分辨率的測量技術,通過改變探測器的時間來確定離子的質量。使用聚焦的初級離子束對樣品進行穩定的轟擊,初級離子可以被樣品表面反向散射(概率很?。?,或者它可以穿透固體樣品表面上的某些原子層到達滲透中的一定深度在此過程中會發生一系列彈性和非彈性碰撞。初級離子將其部分能量轉移到晶格原子。這些原子中的一些朝向表面移動并將能量轉移到表面離子以發射它。該過程變為粒子濺射。當樣品被離子束轟擊時,可能會發生額外的物理和化學過程:一個離子進入晶格,導致晶格畸變;在被吸附層覆蓋的表面上引起化學反應等。納米粒度儀濺射粒子主要是中性原子和分子,一小部分是具有正電荷和負電荷的原子,分子和分子碎片.