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我們只討論激光器的光束質(zhì)量因子M2對激光粒度儀的影響。納米粒度儀利用光束質(zhì)量因子M2評價激光束的質(zhì)量具有重要特點： ① M2因子表示實際光束偏離基模高斯光束(衍射極限)的程度； ② M2因子綜合描述了光束的質(zhì)量，包括光束遠場和近場特性； ③ 光束通過理想光學系統(tǒng)后M2因子不變。

Siegman引入了一個無量綱的量納米粒度儀，光束質(zhì)量因子參數(shù)，較科學合理地描述了激光光束質(zhì)量，并被國際標準化組織1991年的ISO/TC172/SC9/WG1標準草案采納，激光光束質(zhì)量因子的研究和測量也成為近幾年研究的熱點。光束質(zhì)量是衡量激光光束優(yōu)劣的一項重要指標。但是，較長時間以來，光束質(zhì)量一直沒有確切的定義，也未建立標準的測量方法，這給科研和應用都帶來不便。常用來評價光束質(zhì)量的方法有：原衍射極限倍數(shù)因子、斯特列爾比、環(huán)圍能量比、M2因子或其倒數(shù)K因子(光束傳輸因子)，各種光束質(zhì)量的定義對應于不同的應用目的，所反映光束質(zhì)量的側重點也不同。激光光束質(zhì)量M2因子被國際光學界所公認并由國際標準化組織(ISO)予以推薦。M2因子克服了常用光束質(zhì)量評價方法的局限，用M2因子作為評價標準對激光器系統(tǒng)進行質(zhì)量監(jiān)控及輔助設計等具有十分重要的意義。